Johnson Rahbek
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Comparison of Coulombic and Johnsen
https://euvlsymposium.lbl.gov
Johnsen-Rahbek Electrostatic. Chucking for EUV Lithography. M. R. Sogard. Nikon Research Corporation of America, Belmont, CA. A.R. Mikkelson, V. Ramaswamy, M ...
Johnsen
https://patents.google.com
... Johnson-Rahbek effect. Definitions. This invention relates to electrostatic chucks, and, more particularly, to a; Johnsen-Rahbek electrostatic chuck driven ...
Johnsen–Rahbek effect
https://en.wikipedia.org
The Johnsen–Rahbek effect occurs when an electric potential is applied across the boundary between a metallic surface and the surface of a semiconducting ...
TW201639072A
https://patents.google.com
在庫侖吸盤中，表面層電絕緣，而在Johnsen-Rahbek靜電吸盤中，表面層為弱導電的。靜電吸盤之表面層可平坦，或可具有將基板之背面與經覆蓋之電極進一步分開的一或多個突起、 ...
Wafer dependence of Johnsen–Rahbek type electrostatic ...
https://www.researchgate.net
A Johnsen–Rahbek (J-R type) type electrostatic chuck (ESC) was found to be more sensitive to wafer conditions than classic ESC, ...
產品資訊
https://www.calitech.com.tw
當靜電吸盤使用的介電層材料為半導體材料時，稱為Johnsen-Rahbek 靜電吸盤(JR ESC)。其介電質表面不僅有極化電荷，還有很大部分自由電荷，這是因為JR吸盤的介電質有 ...
約翰森
https://www.jendow.com.tw
的大小和所加的電壓和所包含材料的特性有關，這種現象稱為約翰森-拉別克效應（Johnson-Rahbek effect) ... Johnson-Rahbek effect)。 在經過金屬表面和半導體材料表面間邊界處 ...
约翰森－拉别克效应
https://m.baike.com
此效应是以丹麦工程师约翰森（F.A. Johnson)和拉别克（K.Rahbek)命名。他们二人是第一次研究这效应的。 参考文献： Johnson-Rahbek effect Wikipedia.
雙極式靜電吸盤測試環境及吸附力之探討
http://ntur.lib.ntu.edu.tw
... material)，半導體材料其產. 生的靜電吸附壓力效應，稱為Johnson Rahbek effect，其吸附力為：. (. ) 2. 2. 2. 1. 2. 1. │. ⎠. ⎞. │. ⎝. ⎛. −. −. +. │. ⎠. ⎞.
靜電盤的吸附原理
https://www.creativetw.com.tw
Johnson-Rahbek ... 以Johnson-Rahbek所主導的靜電吸盤，是透過調整介電層的絕緣性，以少量通過的電流來吸附對象物。將內部電極加壓電壓後，電荷慢慢地往表面移動，產生虛擬 ...